4月10日，浙江大学杭州国际科创中心，极端光学技术与仪器全国重点实验室发布了2026年三项国际领先成果，包括桌面式极紫外光显微镜、高亮度极紫外阿秒光源和万通道3D纳米激光直写光刻机。

桌面式极紫外光显微镜的外形，酷似台式电脑主机。据介绍，该设备的分辨率优于25纳米——比头发丝细三千倍以上。更重要的是，它让原本必须依赖同步辐射大科学装置的纳米级成像，变得像用普通显微镜一样方便。一同发布的还有高亮度极紫外阿秒光源和万通道3D纳米激光直写光刻机。

做芯片研发的人都知道一个痛点：想看芯片内部的纳米级结构，要么用电子显微镜，只能看表面，还得抽真空；要么用X射线显微镜，能看透内部，但得跑到有同步辐射装置的少数几个地方去排队。一来一回，实验周期拖得很长。

浙江大学团队研发的这台极紫外光显微镜，用算法替代了传统的光学镜片。没有笨重的镜筒，体积大幅缩小，可以直接放在实验室桌面上使用。它能够同时看清内部的三维结构，还能同步分析材料的化学成分。

要看清纳米世界，光有“眼睛”还不够，还得有足够亮、足够稳定的“手电筒”。实验室团队另辟蹊径，研发出全新构型的桌面化光源系统。桌面式高亮极紫外光源在13.5纳米核心波段稳定输出高亮光源，24小时功率波动小于0.5%，解决了光学检测的源头难题。

看得清、照得亮，还得造得出。第三项成果万通道3D纳米激光直写光刻机，瞄准的是芯片制造链条上的另一个关键环节——掩模版加工。传统加工方式好比“单车道”，一次只能刻写一条线，速度慢、效率低。团队创新提出数字微镜协同微透镜阵列的光场调控方案，可生成一万多个独立可控的激光焦点，像把“单车道”变成“万车道高速公路”。这套装置打印速率达每秒2.39亿个三维像素，加工精度亚30纳米，可支持12英寸大面积加工。

这背后是一支团队二十年的“追光”之路。极端光学技术与仪器全国重点实验室依托浙江大学，前身是现代光学仪器国家重点实验室，2022年底重组后在萧山与浙大杭州国际科创中心共建工程研发基地。

极端光学技术与仪器全国重点实验室主任刘旭形象地比喻道，光源是“手电筒”，显微镜是“眼睛”，光刻装备是“巧手”——三者协同，初步形成了从光源、成像到制造的自主能力。他说：“以芯片制造为例，光靠这三样是肯定是不够的，但已经能在部分环节实现自主可控发展。”

从实验室到产业一线，离不开平台的支撑。浙大杭州国际科创中心党委书记董世洪认为，科技创新既要有实验室从0到1的创新能力，也要有从1到100的产业转化潜力。科创中心就是要做好科技转化的红娘和推手，构建前沿研究、技术攻关、产业转化的全链条创新体系。

这些“杭州造”的装备正在从实验室走向产业一线，有望为高端芯片和先进制造提供关键的仪器支撑。目前，万通道3D纳米激光直写光刻机已初步实现产业化。后续，浙大国际科创中心将邀请更多企业参与研发，加速推动科技成果转化，助力萧山、杭州经济高质量发展。